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一种气体检测装置,以半导体制程制出,包含:一基材、一微机电元件、一发光元件、微粒感测元件、气体感测元件、驱动芯片元件以及一封装层;其中,该驱动芯片元件各别控制该微机电元件、该发光元件、该微粒感测元件及该气体感测元件的驱动操作,促使该微机电元件致动产生该气体的输送,该气体得由该基材进气孔导入该气体检测装置内,并通过该发光元件所散射的光源形成该气体的光点,由该微粒感测元件接收检测出一气体微粒的检测数据信息,以及该气体感测元件对通过该气体作检测出一气体的检测数据信息,最后该气体再由该封装层排出。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113758838 A
(43)申请公布日
2021.12.07
(21)申请号 20201
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