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本实用新型提供一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统,包括有依次相连接的离子束形成模块、植入模块和加载互锁模块;加载互锁模块包括有并排设置的第一加载互锁模块和第二加载互锁模块,第一加载互锁模块和第二加载互锁模块用于交替进行平板玻璃的上载和下载;植入模块中具有一个真空机械手臂,真空机械手臂连接有伸缩机构和移动机构,真空机械手臂用于进入第一加载互锁模块和第二加载互锁模块进行取放平板玻璃以及固持平板玻璃进行移动扫描。本方案能够得到极高的有效高度的平行带状离子束,同时显著提升工艺效率,并且成本较低,便
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219246626 U
(45)授权公告日 2023.06.23
(21)申请号 202320775045.0
(22)申请日 2023.04.10
(73)专利权人 浙江鑫钰新材料有限公司
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