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本实用新型提供一种平板玻璃用离子束形成模块，属于半导体器件制造技术领域，包括有离子源腔体及设置于其内的离子源装置，在离子源装置的输出侧设置有离子引出电极，离子引出电极上设有电极固定架；在离子源腔体的壁板上开设有贯通的轨道槽，电极固定架通过轨道槽穿出离子源腔体并在外端连接有电极平移机构；电极平移机构设置于离子源腔体外，在电极平移机构外设有引出电极壳体，引出电极壳体与离子源腔体密封连接。本方案解决了引出电极无法或不便于调节位置的问题，从而能够更加便捷地获得所需要求的离子束，有助于提高离子植入工艺效率
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219246625 U
(45)授权公告日 2023.06.23
(21)申请号 202320775010.7
(22)申请日 2023.04.10
(73)专利权人 浙江鑫钰新材料有限公司
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