- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
本发明提供一种金属带材的等离子清洗装置及清洗系统,涉及芯片制造技术领域。清洗装置包括框体、绝缘间隔件和等离子激发结构。等离子激发结构包括高频电极和接地电极。框体内具有腔室和进气口,高频电极与接地电极通过绝缘间隔件固定于框体,并且高频电极与接地电极之间的间距均匀。高频电极设有第一气孔,接地电极均布有第二气孔,多个第二气孔用于均匀出气。清洗系统包括高频控制器、气源和清洗装置。清洗装置和清洗系统通过设置间距相等的高频电极和接地电极,并进一步设计均匀出气的第一气孔、第二气孔,使得金属带材能够被均匀的等离
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113289983 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110617067.X
(22)申请日 2021.06.03
(71)申请人 常州井芯半导体设备有限公司
文档评论(0)