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一种基于ZnO双壳空心结构微球敏感材料的乙醇传感器、制备方法及其在检测乙醇蒸汽中的应用,属于半导体氧化物气体传感器技术领域。由外表面带有两条平行、环状且彼此分立的金电极的Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在Al2O3陶瓷管外表面和金电极上的ZnO双壳空心结构微球敏感材料、置于Al2O3陶瓷管内的镍铬加热线圈组成。本发明利用内部中空、结构疏松、尺寸均一的ZnO双壳空心结构微球开发出了具有高性能的乙醇气体传感器。传感器检测下限可以达到1ppm。此外,本发明器件工艺简单、体积小、成本低廉、适于大批量生产,因而
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113219010 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110543850.6
(22)申请日 2021.05.19
(71)申请人 吉林大学
地址 13
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