光学显微分析技术.pptVIP

下载本文档

0
0
约小于1千字
约 12页
2023-06-19 发布于浙江
举报
版权申诉

光学显微分析技术.ppt

此“教育”领域文档为创作者个人分享资料，不作为权威性指导和指引，仅供参考

1、本文档共12页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第二章光学显微分析技术;2.1-1 光学显微镜种类;2.1-2 光学显微镜成像原理;提高分辨率的途径;2 增加数值孔径（N.A.）;薄膜厚度的光学测量法不透明薄膜的等厚干涉法(FET) 不透明薄膜的等色干涉法(FECO) 透明薄膜的变角度干涉法(VAMFO) 透明薄膜的等角反射干涉法(CARIS) 椭偏光谱法薄膜厚度的台阶机械测量法石英晶体震荡器法称重量法;常用的薄膜厚度测量方法;2.2-1 薄膜厚度的光学测量法;1 不透明薄膜等厚干涉测薄膜厚度;干涉显微术 ——将光波的干涉技术与显微镜结合起来，利用光的干涉研究物相更细微的表面高度差，观察数十纳米的高度差。 ——一束单色光射到空气尖劈上会产生两束存在一定光程差的光，并产生干涉现象，在目镜中可见明暗相间的条纹。 ——不平表面将产生弯曲干涉条纹。根据干涉条纹的形状即可检测样品表面的细微高度差和平整情况。;2 椭圆偏振光测量法;2.2-2 石英振荡器第二章光学显微分析技术;2.1-1 光学显微镜种类;2.1-2 光学显微镜成像原理;提高分辨率的途径;2 增加数值孔径（N.A.）;薄膜厚度的光学测量法不透明薄膜的等厚干涉法(FET) 不透明薄膜的等色干涉法(FECO) 透明薄膜的变角度干涉法(VAMFO) 透明薄膜的等角反射干涉法(CARIS) 椭偏光谱法薄膜厚度的台阶机械测量法石英晶体震荡器法称重量法;常用的薄膜厚度测量方法;2.2-1 薄膜厚度的光学测量法;1 不透明薄膜等厚干涉测薄膜厚度;干涉显微术 ——将光波的干涉技术与显微镜结合起来，利用光的干涉研究物相更细微的表面高度差，观察数十纳米的高度差。 ——一束单色光射到空气尖劈上会产生两束存在一定光程差的光，并产生干涉现象，在目镜中可见明暗相间的条纹。 ——不平表面将产生弯曲干涉条纹。根据干涉条纹的形状即可检测样品表面的细微高度差和平整情况。;2 椭圆偏振光测量法;2.2-2 石英振荡器