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本发明属于光伏行业用石英部件表面处理的技术领域,具体涉及一种延长LPCVD工艺用石英制品表面使用寿命的加工方法。方法包括火抛光、退火、遮蔽、喷砂、去除遮蔽物、第一次清洗、配制酸性化学溶液、化学蚀刻、第二次清洗等步骤。本发明制备的LPCVD工艺的石英制品其表面丘陵状均匀,提高了硅化合物对石英制品的附着性,同时不会引起沉积在石英制品上的硅化合物的剥离,减少颗粒污染,并且延长石英制品使用寿命,满足光伏行业需求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113213736 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110509441.4 C03C 23/00 (2006.01)
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