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本实用新型提供了一种晶圆夹持装置，包括承载台、圆形多孔吸盘、卡接柱和夹紧块；所述承载台的承载面中部设有承载晶圆的所述圆形多孔吸盘，所述承载面还设有环绕在所述圆形多孔吸盘周围的多个所述卡接柱和多个所述夹紧块，所述夹紧块设于所述承载台的凹槽内，且所述夹紧块能够在所述圆形多孔吸盘的径向上发生转动；其中，在工作时所述晶圆通过多个所述卡接柱从边缘的抵触，以及多个所述夹紧块的转动夹持固定在所述圆形多孔吸盘上；本发明以实现晶圆平整的贴合在承载台上，同时防止晶圆在高速旋转时被甩出，达到将晶圆牢固的固定在承载台上
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219180493 U
(45)授权公告日 2023.06.13
(21)申请号 202320223854.0
(22)申请日 2023.02.15
(73)专利权人 沈阳芯源微电子设备股份有限公
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