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微缝气浮单元及其成型方法,属于静压气浮领域。本发明解决了小孔节流气浮单元缝隙通过能力差、存在涡流干扰,以及多孔质气浮单元脱落粉末污染环境的问题。本发明微缝气浮单元,包括上壳体、导气腔和具有狭缝的底板;其中,狭缝的形状为蜂窝状,狭缝的宽度为毫米级;上壳体盖合在具有狭缝的底板上,且二者底面平齐;导气腔设置在具有狭缝的底板上,且导气腔与狭缝连通;底板和导气腔的外部与上壳体之间所形成的空间内填充有浇筑材料,导气腔通过进气通道与上壳体外部连通。本发明主要进行气浮支撑。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113074188 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202110316894.5 (51)Int.Cl.
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