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光学器件抗反射涂层的设计和制造
概括
作为现代光学的一个重要分支,光学薄膜已广泛应用于工农业等各个领域,在人们的
日常生活中发挥着越来越重要的作用。作为最重要的一种光学薄膜,减反射膜的发展也受到
了更多的关注。
本文对光学薄膜性能的理论计算,包括薄膜的基础理论、单层薄膜的性能计算和多层
薄膜的性能计算,已经达到一定程度了解光学薄膜的特性。并且通过掌握光学减反射膜的设
计原理、材料选择和工艺,可以对减反射膜有更深入的了解。最后,采用直流反应溅射制备
了TiO
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