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MEMS加速度计的原理及运用
高鹏 黄国胜
2006．12.19
目录
1.MEMS 加速度计基本原理分析
1.1 MEMS 简介
1.2 微加速度计的类型
1.3 差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理
1.4 MEMS微加速度计的制造工艺
1.5 MEMS微加速度计主要性能指标的设计和控制
1.6 ME
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