平面度与光波带的条数关系.pdfVIP

精品文档 平面度与光波带的关系 引用一本书上的内容 : 1) 根据干涉条纹计算平面度误差 测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹，如图所示，调整平晶位置，使之出现 3～5 条干涉带，则平面度误差的近似值为： f= (v/ ω) ×( λ/2) λ为光波波长，白光的平均波长为 0.58 μm, ν为干涉带弯曲量， ω为干涉带间距 但是如何精确确定 ν和 ω的值 , 我也很迷惑 ! 2 ）根据光圈计算平面度误差 若被测平面凹或凸，则会出现环形干涉带，调整平晶的位置，使干涉带数为最少，则平面度误差的近似值为： f ＝( λ/2) ×n λ为光波波长，白光的平均波长为 0.58 μm；n 为平晶直径方向上的光圈数 示意图如下 [ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 编辑 ] 平晶具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。 光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面， 它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。 平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差， 图 1a 为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。 平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差， 。 1 欢迎下载 精品文档 例如千分尺两测量面的平行度误差（图 1b）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。 圆柱形平面平晶的直径通常为 45 ～ 150 毫米。 其光学测量平面的平面度误差为 :1 级精度的为 0.03 ～ 0.05 微米； 2 级精度的为 0.1 微米。 常见的长方形平面平晶的有效长度一般为 200 毫米。 平晶 - 正文 具有两个 （或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。 光学测量平面是表面粗 糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。 平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，图 1a 为用 平面平晶检验量块测量面的平面度误差。 平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的， 用于 测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差（图 1b）。平晶用光 学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45 ～150 毫米。其光学测量平面的 平面度误差为 :1 级精度的为 0.03 ～0.05 微米； 2 级精度的为 0.1 微米。常见的长方形平面 平晶的有效长度一般为 200 毫米。 平晶 平晶 平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图 2 ）, 也称技术光波干涉法。测量时 , 把平晶放在被测表面上 , 且与被测表面形成一个很小的楔角 ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。 干涉条纹的位置与光线的入射角有关。 如入射光线 θ 垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小 , 则由平晶测量面 P 反射的光线与被测表 面反射的光线在测量面 P 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干 涉条纹。 如干涉条纹平直，