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维普资讯
《云光技术》1992 №6 ·l5 ·
a = 一 X
b=(662I542462+x)x+8995694387
c=-8995694387x
按公式 (13～16)实际算几个点，其结果如下
0 l0 i5 20
0 — 10 — 15 - 20
899．5694387 】055．64656l 1661．723684 2I17．800807 2623．87793
0 - 4497．847193 - 8995．694387 — 13493．54158 — 17991．3887
0 3．6347032 5．60235 6．6883286 7．258366
277934025 22．7934025 17．7934025 12．7934025 7．7934025
622977838 7 10 1454144978 18
- 29．992823I2 - 26358I1992 — 24．390473I2 -- 23．3O449452 - 22．7344 7l2
53 5375586786 53 53 53
由实际计算的几个点可知 ．连续变倍显微物镜物点A 和象点A 之间的距离 s都
为常数，说明没有象而位移，从而证明了补偿组凸轮曲线计算公式是正确的，起始数据
也是正确
。激光，。干面干涉仪 √ ，
5--f8 用激光平面干涉仪测量D1-I-180。棱
镜直角偏差A90。及 0I、 Ⅱ的分析
许求真 TH 3
(计量技术处)
摘要 本文详尽地分析了平面干涉仅测量DⅡ-180。棱镜的调整成象步
骤，络 出了判断计算公式．
是通过棱镜到达AB面，由AB面反射再
一
一 、 象斑及其移动规律 次通过棱镜出射的光束．光束@是通过
在平面干涉仪的载物台上放上 DⅡ 棱镜后出射，到达参考面M．由M 反射
一 180。直角棱镜，可产生五支光束，图 l 圊棱镜，再一次通过棱镜出射的光柬．在
中分别用数字①、@ ，◎，④和⑤加 以标 距 目镜 200ram左右 的地方观察，可看到
记．光束回是参考面 M 直接反射 的光 上述五支光束形成的四个蓉斑．光束@、
束．光束@是 由大面AB反射 的光束．光 ④重合成一个象斑@．产生 自身干涉 图，
柬@是通过棱镜直接 出射的光求，光束④ 其它三支光束各形成一个象斑，其中光束
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