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柔性微流体电子材料工艺与器件-中国材料进展
第35卷 第2期 中国材料进展 Vol35 No2
2016年2月 MATERIALS CHINA Feb2016
柔性微流体电子: 材料、 工艺与器件
尹周平, 吴志刚, 黄永安
(华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室 柔性电子研究中心, 湖北 武汉430074)
摘 要:微流体技术是指在微观尺寸下控制、 操作和检测复杂流体的新兴技术, 通过与柔性电子技术结合, 产生了全新的柔
性微流体电子技术, 有望在可变形电极、 可穿戴电子、 可延展柔性天线等领域发挥重要作用。 目前, 液态金属由于其常温液
态、 大表面张力等特点, 应用于柔性微流体电子技术领域时, 在材料、 工艺和设备等方面面临诸多挑战。 重点讨论液态金属
的组分和属性、 微流体制造工艺与特点, 以及柔性微流体电子技术的新兴应用。 最后展望了柔性微流体电子技术需研究并解
决的关键科学技术问题。
关键词:柔性电子; 液态金属; 微流体; 无线传感器; 液体天线
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中图分类号: TN05 文献标识码: A 文章编号: 1674 3962(2016)02 0108 10
Flexible Microfluidic Electronics:Materials,
Processes and Devices
YIN Zhouping,WU Zhigang,HUANG Yongan
(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology,Flexible Electronics Research Center,
Huazhong University of Science and Technology,Wuhan430074,China)
Abstract:Microfluidic technology is an emerging technology of controlling,operating and detecting complex fluid under
microscale. With the combination of flexible electronic technology,a new flexible microfluidic electronic technology is de⁃
veloped,which is expected to play an important role in the fields of deformable electrodes,wearable electronics,flexible
antennas and others. At present,theliquidmetalusedinmicrofluidicelectronictechnology,duetoitsliquidstateatroom
temperature and large surface tension characteristics,faces many challenges in the material,process and equipment. This
paper focuses on the configuration and properties of liquid metal,thefabrication processes and characteristics of microflu⁃
idic electronics,and the advanced applications of flexible microflui
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