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2018-08-19 发布于天津
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辉光放电等离子体特性的试验研究

Vo l. 44 No.5 太原理工大学学报第 44 卷第5 期 2013 年 9 月 ]OURNAL OF TAIYUAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Sep. 2013 文章编号: 1007-9432 (2013) 05-0668-05 辉光放电等离子体特性的实验研究张青兰，张彩霞 (太原理工大学物理与光电工程学院，太原 030024) 摘要:针对 Langmuir 羊探针测量空气样光，放电等离子体特性实验中，探针的伏安特性曲线不理想这一问题，分析了两种数据处理方法，并通过了实验验证;对影响等离子体参数分布的因素 (放电电压、气压)进行了考察。结果表明 z 放电电压越高，电子的温度越低，密度越高;气压越高，电子的温度越低，密度越高。关键词:等离子体;单探针z 电子温度;电子密度文献标识码:A 中固分类号:0343 等离子体是由大量的带电粒子组成的非束缚态探针电流与其电位之间的关系，即探针伏安特性曲的宏观体系，是物质的第四态。等离子体有许多独线，如图 1 所示。特的物理、化学性质，例如温度高、粒子动能大;具有 ι 类似金属的导电性能;化学性质活泼，容易发生化学 !, 反应;具有发光特性，可以用做光源[1J 。因此等离子体技术的应用十分广泛，如磁流体发电、等离子体切割、等离子体光源和等离子体显示，等等。等离子体还为表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境[叫。准确测量等离子体参数，是空间探 i U, u p !电子饱和 1 过渡区区视j 、航天器防护等领域的关键环节[7J 。 I →离子电流; Ico 电子电流; io 辉光放电等离子体属于非热力学平衡