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本申请属于数据处理技术领域,具体涉及一种工艺参数优化方法、装置、设备及存储介质,包括:以制造设备的预训练支持向量回归机模型的第一权重参数为迭代初始值,根据训练数据以在线临近梯度算法计算支持向量回归机模型的第二权重参数;将预训练的支持向量回归机模型的第一权重参数更新为第二权重参数,获得优化后支持向量回归机模型;将制造设备的第一工艺参数输入优化后支持向量回归机模型,获取优化后支持向量回归机模型输出的第一检测参数;根据第一工艺参数、第一检测参数,计算制造设备的目标工艺参数。本申请训练计算复杂度低、计算
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118069962A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410494603.5G06F18/27(2023.01)
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