SEM操作作业规程专业资料.doc

JSM-7

1、确认Maintenance界面内GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2真空度正常方可运营！！

2、选取对的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。

注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！！

3、装样品前必要确认高压处在关闭状态。

4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口ExchangePosition按钮，使样品互换室控制面板EXCHPOSN灯点亮，并确认样品台处在样品互换位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm

5、按下VENT按钮对Exchangechamber放气，直至VENT常亮，表达样品互换室处在大气状态。

6、松开互换室锁扣，打开样品互换室，将已固定好样品样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。

7、完全关闭样品互换室门，扣好锁扣。?

8、按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到规定期，EVAC常亮。

9、手持样品互换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder完全送进互换室中，注意当HLDR灯亮起后，再完全拉出样品杆，垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。

注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应及时停止操作，将样品杆归位，检查操作环节与否对的。

10、在SEM应用程序软件界面对的选取所使用Holder类型，输入样品高度值，点击OK确认。

11、输入Z值10mm。

11、查看样品室真空度，确认真空度不大于5.0×10-4Pa时才可开始进行图像操作。

12、观测样品，获取图像。

（1）点击ON，打开高压，依照样品选取所需电压。

（2）如果有各种样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选取要观测样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。

（3）确认ScanningMode在QuickView状态，寻找样品表面明显特性。先切换到较高倍率，转动FOCUS旋钮进行聚焦，X、Y散光像差校正旋钮进行像散调节，调节亮度与对比度（可按ACB自动调节或手动调节），直至样品表面特性图像清晰为止（低倍率时，运用AUTO键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观测。

a）如果聚焦时浮现图像是模糊，需要进行电子束对中调节。

b）按键盘上RDC?IMAGE键，打开调节窗口，按键盘上WOBB键，此时图像会来回摆动，旋转键盘上X、Y调节旋钮使图像停止摆动（X方向摆动调节X旋钮，Y方向摆动调节Y旋钮）。

c）关闭WOBB键，此时STIG键自动亮，分别旋转键盘上X、Y调节旋钮将图像调节清晰。

d）继续放大倍数，转动FOCUS旋钮进行聚焦，如图像不清晰，重复c步直到将图像调节清晰。

e）如果图像已经调节好，，按键盘上“RDC?IMAGE”键关闭调节窗口，进行全屏显示。

（4）图像聚焦像散调节完毕后，按下FINE?VIEW键及FREEZE键扫描图像并定格，也可按下PHOTO键获取最后图像，输入样品名称，选取文献类型和文献保存位置，点击“Save”进行保存。

（5）按“FREEZE”键取消锁定，按“QUICK?VIEW”进行迅速扫描，为下一次调节图像做好准备。

13、背散射（BEIdetector）观测

1）点击ExchangePosition，EXCHPOSN灯同步亮，样品台回到样品互换初始位置。

2）点击OFF，关闭高压，确认高压处在关闭状态！

3）在仪器状态区域将BEI勾选，BEIdetector自动伸入样品室。

4）点击ON，打开高压，依照样品选取所需电压。

5）找好要分析样品位置，调节好倍率，聚焦及像散。

6）在图像显示区域选取图像信号为BEC

7）按Fineview2获取图像，按下PHOTO键获取最后图像，选取“Save”模式进行保存。。

8）使用完毕后，先关闭高压，再将BEI打勾取消（即表达BEIdetector退回）。

14、结束观测：

1）将放大倍率调至最低倍。

2）点击OFF，关闭高压，确认高压处在关闭状态！

2）点击软件中Specimen窗口ExchangePosition按钮，EXCHPOSN灯同步亮，样品台复位，处在样品互换初始位置。

3）运用样品互换杆将样品Holder拉出样品互换室。

4）按下VENT键放气，直至VENT常亮。

5）打开样品互换室，按箭头方向取出样品Holder及样品，并检查样品互换室与否正常。

6）关闭样品互换室并按EVAC抽真空，待EVAC灯不再闪动后，观测结束。

注意事项

1、接触样品座，取放样品时务必戴手套操作，并保证样品在样品台上固定牢固；样品柱高度最佳不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时，不要将Z值输入过小，导致镜头碰撞样品台。

2、注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应及时停止操作，将样品杆归位，检查操作环节与否对的。

3、拉出拉杆时，牢记一定