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《真空技术真空计放气率的测试和报告程序GB/Z42624-2023》详细解读
contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义4符号和缩略语5测试系统5.1一般要求5.2应用流量法的测试系统
contents目录5.3累积系统6测试方法6.1概述6.2推荐的样品制备方式6.3测试的流程和时间6.4测试程序7测量不确定度7.1概述
contents目录7.2用作流量比较装置的连续膨胀系统(5.2.2)7.3带有可计算流导元件的流量系统(5.2.3)7.4带有可测有效抽速的流量系统(5.2.4)7.5带有可调流导元件的流量系统(5.2.5)7.6基本累积系统(5.3.2)7.7带有气体分析系统的累积系统(5.3.3)8测试报告附录A(资料性)各种测试系统的原理图
contents目录附录B(资料性)不同测试系统的特征和适用性附录C(资料性)不同测量系统对SI的可追溯性参考文献
011范围
03皮拉尼真空计01热导真空计02电离真空计1范围
022规范性引用文件
GB/T3103.1真空技术术语和定义GB/T3163真空技术真空计压力读数换算为等效平均颗粒直径的方法GB/T6060.1真空计量器具用标准气体压力真空计2规范性引用文件
033术语和定义
定义指真空计在特定条件下,单位时间内从真空计内部释放出的气体量。影响因素包括真空计的材料、制造工艺、密封性能等。表示方法通常用单位时间内释放的气体体积或质量来表示。3术语和定义
044符号和缩略语
P压力,单位为帕斯卡(Pa)V体积,单位为立方米(m3)T温度,单位为开尔文(K)4符号和缩略语
055测试系统
用于测量真空度的设备,需具备高准确度和稳定性。真空计提供真空环境的密封容器,应具有良好的密封性能和足够的容积。真空室包括真空泵及其附属设备,用于将真空室内的气体抽出,以达到所需的真空度。抽气系统5测试系统
065.1一般要求
测试环境要求01测试放气率的真空系统应处于洁净、无油、干燥的环境中,以确保测试结果的准确性。同时,测试过程中应避免外界干扰,如电磁干扰、振动等。测试设备要求02测试所使用的真空计应经过校准,确保其准确性和可靠性。此外,测试设备应具备足够的灵敏度和分辨率,以精确测量放气率。测试程序要求03测试放气率的程序应严格按照相关标准和规定进行,包括测试前的准备、测试过程中的操作以及测试后的数据处理等。测试人员应具备相应的专业知识和技能,以确保测试的有效性和可信度。5.1一般要求
075.2应用流量法的测试系统
123用于测量真空度的设备,需具备高准确性和稳定性。真空计测量气体流量的仪器,应选用合适的量程和精度。流量计用于放置被测试件并抽取真空的密闭空间。真空室5.2应用流量法的测试系统
085.3累积系统
真空室用于提供真空环境的密封容器,具备足够的强度和气密性。真空泵用于抽取真空室内气体的设备,根据实际需求选择合适的类型和规格。测量仪器包括真空计、压力表等,用于实时监测和记录真空室内的压力变化。5.3累积系统
096测试方法
选择合适的真空计根据测试需求,选用准确度高、稳定性好的真空计。检查测试环境确保测试场地安全、整洁,无影响测试结果的因素。确定测试对象和测试目的明确需要测试的真空系统及其放气率,以及测试的具体目的。6测试方法
106.1概述
真空技术重要性真空技术是现代科学技术领域的重要分支,广泛应用于科研、工业生产等领域。真空计作为真空度的测量工具,其准确性和可靠性至关重要。放气率测试意义放气率是指真空系统内部材料在真空环境下释放出气体的速率。放气率的测试对于评估真空系统的性能、优化系统设计以及保障科研和生产的稳定性具有重要意义。标准制定背景随着真空技术的不断发展,国内外对于真空计放气率测试和报告的需求日益凸显。为了规范相关测试方法和报告程序,提高测试结果的准确性和可比性,特制定本标准。6.1概述
116.2推荐的样品制备方式
保证样品的代表性合理的样品制备方式能够确保所选取的样品具有代表性,能够真实反映被测试材料的放气率情况。方便后续测试操作经过良好制备的样品,可以简化后续测试的操作步骤,提高测试效率。确保测试结果的准确性通过规范的样品制备,可以减少外界因素对测试结果的影响,提高测试的准确性。6.2推荐的样品制备方式
126.3测试的流程和时间
6.3测试的流程和时间确定测试目的和方案根据实际需求,明确测试的具体目的和采用的测试方案。检查测试设备对所使用的真空计、真空系统及其他相关设备进行详细检查,确保其性能稳定、可靠。样品准备选取具有代表性的样品,按照相关
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