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低温多晶氧化物薄膜晶体管的研究;低温多晶氧化物薄膜晶体管的独特优势
主要制备方法:溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法
影响晶体管性能的关键因素:衬底材料、沉积温度、退火工艺
器件结构类型:顶栅结构、底栅结构
电学性能表征:载流子迁移率、阈值电压、亚阈值摆幅
应用领域:显示器、太阳能电池、传感器
发展趋势:新型衬底材料、新型氧化物材料、器件集成化
未来挑战:提高器件性能、降低制造成本、扩大应用领域;低温多晶氧化物薄膜晶体管的独特优势;低温多晶氧化物薄膜晶体管的独特优势;低温多晶氧化物薄膜晶体管的独特优势;低温多晶氧化物薄膜晶体管的独特优势;主要制备方法:溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法;主要制备方法:溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法;影响晶体管性能的关键因素:衬底材料、沉积温度、退火工艺;影响晶体管性能的关键因素:衬底材料、沉积温度、退火工艺;影响晶体管性能的关键因素:衬底材料、沉积温度、退火工艺;器件结构类型:顶栅结构、底栅结构;器件结构类型:顶栅结构、底栅结构;器件结构类型:顶栅结构、底栅结构;器件结构类型:顶栅结构、底栅结构;电学性能表征:载流子迁移率、阈值电压、亚阈值摆幅;电学性能表征:载流子迁移率、阈值电压、亚阈值摆幅;电学性能表征:载流子迁移率、阈值电压、亚阈值摆幅;应用领域:显示器、太阳能电池、传感器;应用领域:显示器、太阳能电池、传感器;应用领域:显示器、太阳能电池、传感器;发展趋势:新型衬底材料、新型氧化物材料、器件集成化;发展趋势:新型衬底材料、新型氧化物材料、器件集成化;未来挑战:提高器件性能、降低制造成本、扩大应用领域;未来挑战:提高器件性能、降低制造成本、扩大应用领域;未来挑战:提高器件性能、降低制造成本、扩大应用领域
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