CCD设备开发及验收规范.pdfVIP

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设备开发及验收规范

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1﹑目的

对CCD、电测、气密、针高、3D等测试设备的要求和方法进行管理，确认CCD、电测、气密设备量测系统稳定性，

CCD测试数据与实验室（量测室）测设备量测数据对比线性关系，确保测试设备测量系统符合厂内要求。

2﹑范围

适用于新产品过程开发中CCD、电测、气密等测试工序的工艺要求；试样及量产产品CCD及电测、气密点检样品

制作与设备点检。

3﹑定义：

CCD：电荷耦合器件,能够把光学影像转化为电信号，使用CCD进行尺寸监控。

电测：产品电性测试，CZT产线使用综合测试仪测试导通，短路，耐电压。

气密设备：规定时间内通过气压泄漏值，换算泄漏量来评价产品密封功能。

4﹑职责

4.1项目工程/PIE:过程开发阶段，评估CCD、电测、气密等测试工艺导入可行性。

4.2DQA：输出CCD检测图纸，输出量测方案，电测及气密等计数型点检样品制作，主导测试设备MSA评价及测

试功能的验收，试产前检验设备测量有效性点检，试产前阶段检验设备量测系统异常的初始评价。

4.3项目工程/PIE:主导开发并输出设备技术要求及产线布局规划，检验设备量测系统异常分析。

4.4自动化：依技术要求开发CCD电测气密等测试设备及工装夹具开发和调试，检验设备量测异常改善；

4.5实验室室：CCD点检样品量测，真实值输出，点检样品量测标准化建立，台账建立和维护。

4.6IPQC负责试量产阶段CCD电测气密针高等设备的点检，点检样品保管，送实验室校验，电测和气密样品制

作；试产段和量产段量测系统异常的初始评价。

4.7文控：点检图纸和样品发行与回收。

5﹑程序

5.1CCD开发管控流程

作业流程图权责部门/人时机相关作业内容/表单

依照产品图纸输出CCD图纸+量测方

APQP第三阶段或量产产

1.CCD图纸输出QA法；如基准转换或公差不清晰需研发

品新增CCD工序

协助定义标准

APQP第三阶段或量产产

2.技术要求输出项目工程/PIE【机治具开发技术要求单】