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离子注入;目录;01;;离子注入的应用领域;主要分为离子靶、离子化炉、离子注入机等多种类型，其作用是产生高纯度的离子束;;;离子注入的优缺点;结语;02;半导体制造;材料改性;生物医学工程;其他应用领域;;半导体制造中的离子注入;;;表面粗糙度、生物相容性和成骨细胞活性的改善;离子注入在环保领域的应用;03;优点;缺点;离子注入的发展趋势;;离子注入的简介;利用离子注入改变材料的化学、物理性质，使其具有更好的性能和应用价值;;离子注入的优化方案;04;常见故障及其原因;故障排除步骤;预防措施;操作人员没有按照操作规程进行操作;;常见故障及其原因;;预防措施;05;;离子注入人员的防护措施;3.大气污染;;;离子注入人员的防护措施;3.大气污染;;离子注入设备的安全管理;设备安全漏洞分析;06;;离子注入的应用发展趋势;离子注入技术的进一步改进;实现更快更小的芯片;;结语;
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