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洁净厂房空气洁净度等级
3空气洁净度等级
3.0.1洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定:
1洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3.0.1确定。
表3.0.1洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
空气洁净度等级P0
大于或等十要求粒径的最大浓度限值(pcAn3)
0.2pm
0.5呷
1pm
5|Ltm
1
10
2
2 ..
100
24 :
10
4
3
1000
237
102
35
e
4
10000
..2370
1020
352
83
5
面000
23G
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
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