GB∕T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法测方法.pdf

ICS13.040.35

ccsc70GB

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.3-2024/ISO14644-3:2019

代替GB/T25915.3-2010

洁净室及相关受控环境

第3部分：检测方法

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments一

Part3:Testmethods

(ISO14644-3:2019,IDT)

2024-03-15发布2024-10心1实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T25915.3-2024/ISO14644-3:2019

目次

lllJ育………………….1

JIJ…………………···············……………u

licH~I…………

2规范性引用文｛’l

3~i带初定义……………··

3.1－般术泊

3.2与空气忿浮粒子有关的术语……………········………….2

3.3与空气过滤器和l.i:J:泌系统有关的术i1f……………….3

3.4与气流和其他物理状态行关的术说……·……….4

3.5与静电测处有关的术活………………·…….4

3.6与测报报共和测位条件有关的水说……….5

3.7与占用状态｛j’关的术语…········…………·………5

4梭测规程…......………………··············……………….5

4.Ii11i净笔检测………………….5

ι2原理…………………6

5

俭测·lfHi…………………8

附录A（资料性〉支持做扮测和11,•;!jl(t(J逃得……………….9

f4~求日（资料性〉支J守住院i!l!l1i法………..13

附求c（资料性）检测仪2吕…………….35

参二号文献……………………·13

CB／＇『25915.3-2024/ISO14644-3:2019

刚昌

本文件核！！（！GB/T1.1-2020《标准化℃作吁，则统l部分2标准化文件的纺构和起尊规则E的规;:g

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本文件是GB/T25915（前净室及相关受控环拢fl11fl31部分，GB/T25915己约发布f以下部分：

第l部分：拨缸子浓度划分宅气i占It’J支等级z

一←第2部分：泊f户写E宅气轮子浓度的监测：

一－t在3部分：检il~I方法：

芳：4部分：设计、法选、启7J/J

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