半导体键合用铝-1%硅细丝 送审稿.docx

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YS/T543-202X

半导体键合用铝-1%硅细丝

1范围

本文件规定了半导体器件键合用铝-1%硅细丝的要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同）内容。

本文件适用于半导体内引线用的拉制或挤压铝-1%硅细丝（以下简称细丝）。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3199铝及铝合金加工产品包装、标志、运输、贮存等标准的；

GB/T7999铝及铝合金光电直读发射光谱分析方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T10573有色金属细丝拉伸试验方法

GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法GB/T17432变形铝及铝合金化学分析方法

GB/T20975（所有部分）铝及铝合金化学分析方法；

YS/T871高纯铝化学分析方法痕量元素含量的测定辉光放电质谱法

3产品分类

3.1牌号、状态、尺寸规格

细丝的牌号、状态、尺寸规格见表1。

表1牌号、状态、尺寸规格

牌号

状态

尺寸规格

典型直径mm

典型长度m

Al-1%Si

0、H18

0.013、0.018、0.020、0.025、0.030、0.032、0.035、0.038、0.040、0.045、0.050、0.060、0.070、0.080、0.100

100～1000

3.2标记及示例

细丝的标记按产品名称、标准编号、牌号、状态及尺寸规格的顺序表示。标记示例如下：示例：

牌号AL-1%Si、状态H18、直径为0.013mm、长度100m的细丝，标记为：

细丝Al-1%SiH18-Ф0.013×100

4技术要求

4.1化学成分

细丝用铝基化学成分应符合YS/T665中5.1.1中Al99.998A4N8牌号标准，且细丝的化学成分应符合表2的规定，如对其他元素有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中具体注明。

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表2化学成分

牌号

化学成分（质量分数）/%

Si

Fe

Cu

Mg

B

V

Mn

其他杂质a

Alb

单个

合计

Al-1%Si

0.90~1.10

≤0.0005

≤0.0005

≤0.0002

≤0.0005

≤0.0002

≤0.0003

≤

0.0001

≤

0.0010

余量

Cr

Ni

Zn

Ga

Ti

Zr

Ag

≤0.0002

≤0.0001

≤0.0002

≤0.0003

≤0.0003

≤0.0003

≤0.0003

a其他杂质指表中未列出或未规定数值的元素。

b铝的质量分数为100.00％与所有含量不小于0.0010％的元素含量总和的差值，求和前各元素数值要表示到0.00X%。

4.2尺寸偏差

4.2.1直径偏差

细丝的直径偏差应符合表3的规定。

表3直径偏差

单位为毫米

公称直径

直径允许偏差

公称直径

直径允许偏差

0.013

±0.0004

0.040

±0.0012

0.018

±0.0005

0.045

±0.0014

0.020

±0.0006

0.050

±0.0015

0.025

±0.0007

0.060

±0.0018

0.030

±0.0009

0.070

±0.0021

0.032

±0.0010

0.080

±0.0024

0.035

±0.0011

0.100

±0.0030

0.038

±0.0011

-

-

4.2.2长度偏差

细丝的长度偏差应符合表4的规定。

表4长度偏差

单位为米

长度

长度允许偏差

100~500

±3

>500~1000

±5

4.3室温拉伸力学性能

4.3.1细丝的拉断力、断后伸长率见表5，细丝的拉断力和断后伸长率应在表5规定的最小和最大

值的区间内选定，并在订货单（或合同）中具体注明。

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表5拉断力、断后伸长率

公称直径mm

拉断力FN

断后伸长率A%

最小

最大

最小

最大

0.013

0.029

0.118

0.50

3.00

0.018

0.029

0.137

0.50

3.00

0.020

0.059

0.216

0.50

4.00

0.025

0.078

0.294

0.50

4.00

0.030

0.098

0.323

0.50

4.00

0.032

0.098

0.373

0.50

4.00

0.035

0.098

0.440

0.50

4.00

0.03