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能够以高分辨率观察被观察物，并且，能够在宽范围内识别被观察物的表面的倾斜角。在具备对被观察物(W)照射照明光的照明光学系统(116)和对来自被观察物(W)的物体光进行聚光并将其引导至检测器(126)的观察光学系统(122)的图像观察装置(100)中，具备与被观察物(W)相对向的物镜(122A)和配置在物镜(122A)的与被观察物相反侧且将照明光学系统(116)的照明光轴(L1)和观察光学系统(122)的观察光轴(L2)设为同轴的分束器(116B)，将照明光的光的波长范围(R、G、B)分割为不同的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115605795A
(43)申请公布日2023.01.13
(21)申请号202180034768.9(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所
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