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本公开涉及一种气体预热装置和沉积炉,气体预热装置包括第一单元壳,第一单元壳包括第一盖体和第一筒壳,第一筒壳形具有容纳空间,第一盖体上开设有多个第一通孔以与容纳空间连通;以及至少一个第二单元壳,第二单元壳包括第二盖体和第二筒壳,第二盖体固定安装于第二筒壳,第二筒壳和/或第二盖体开设有连通部;其中,至少一个第二单元壳从外向内依次嵌套在第一单元壳中,并且第二单元壳通过所述连通部与容纳空间连通。通过上述技术方案,该气体预热装置能够提升待预热气体的预热效果。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220550222U
(45)授权公告日2024.03.01
(21)申请号202321955416.X
(22)申请日2023.07.24
(73)专利权人隆基绿能科技股份有限公司
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