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毕业设计论文
作者巴明豪学号31621P26
系部环境信息学院
专业光电技术应用
题目半导体工艺技术分析
指导教师王永
评阅教师张渊
完成时间：2018年11月28日
毕业设计(论文)中文摘要
(题目)：半导体工艺技术分析
摘要：近几年随着半导体产物快速发展，技术的发展也对半导体晶圆厂提出了更高的要求，怎样提高生产效率的问题也随之出现在我们的面前。自动物料搬送系统自动化物料搬送系统（AMHS）（AutomaticMaterialHandlingSystem）在半导体工厂的FAB中，也扮演着非常重要的角色，当然，自动化物料搬送系统（AMHS）的应用不仅仅是半导体的晶圆厂，也适用于其它很多领域，但是应用范围最广的还是半导体晶圆制造FAB，之所以半导体工厂广泛使用自动化物料搬送系统（AMHS），基本原因是它可以快速准确的将Foup搬送到目的地，较少Wafer的idletime，减少MO（missoperation），提高生产效率。
本论文的长远意义在于能协助自动化物料搬送系统（AMHS）系统的制造厂家以及自动化物料搬送系统（AMHS）系统的应用工厂在生产过程中能得到一些启示，优化结构不论是从系统的设计阶段到生产阶段还是实际在工厂的应用阶段，都可以采取一定的预防措施，从而可以使自动化物料搬送系统（AMHS）系统能够发挥更大的作用，提高整个晶圆制造FAB的效率。
关键词：半导体、自动化物料搬送系统
毕业设计(论文)外文摘要
Title:AnalysisofSemiconductorTechnology
Abstract:Inrecentyears,withtherapiddevelopmentofsemiconductorproducts,thedevelopmentoftechnologyhasalsoputforwardhigherruirementsforsemiconductorwaferfactories,andtheproblemofhowtoimprovetheproductionefficiencyhasalsoemergedinfrontofus.AutomaticMaterialHandlingSystem(AutomaticMaterialHandlingSystem)insemiconductorfactoryFAB,playsaveryimportantrole,ofcourse,theapplicationofAMHSisnotonlyasemiconductorFAB,canalsobeappliedtomanyotherareas,butthemostwidelyapplicationscopeorsemiconductorWaferFAB,thewidelyusedAMHSsemiconductorfactories,thebasicreasonisthatitcanbefastmovingfoupssenttodestination,lessWaferidletime,ReduceMO(missoperation)andimproveproductionefficiency.
Long-termsignificanceofthispaperistohelpamanufacturerofAMHSsystems,andtheapplicationofAMHSsystemsfactorycangetsomeenlightenmentintheproductionprocess,optimizingthestructureofbothfromsystemdesignstagetoproductionstageandtheactualapplicationofphaseinthefactory,cantakepreventivemeasures,inordertomaketheAMHSsystem
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