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本申请涉及一种机台参数的确定方法、控制方法、控制系统及其装置,通过获取历史数据集,历史数据集包括多个历史机台参数和多个历史晶圆参数,保证了数据获取的普遍性,根据历史数据集确定使晶圆良率恶化的机台参数对应的恶化参数范围,根据恶化参数范围确定晶圆良率恶化的原因,然后根据恶化参数范围设定试验数据集,获取机台按照试验数据集制备晶圆后的晶圆试验良率,并根据晶圆试验良率确定机台的目标参数集,采用目标参数集为机台参数制备晶圆,改善了生产制造时晶圆良率的恶化,提高了晶圆良率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117410215A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311723458.5
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司
地址
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