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一种机构轴系微位移精密实时测量系统及其方法.pdfVIP

一种机构轴系微位移精密实时测量系统及其方法.pdf

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    本发明公开了一种机构轴系微位移精密实时测量系统及其方法，该系统包含至少一个电容传感器、至少一个前置转换放大电路、至少一个检波放大电路、通道选择电路、A/D转换电路和信号处理电路。其优点是：该系统基于电容测微技术，实现了对机构轴系的微位移量的实时测量，通过监测机构轴系间距的微小变化以实现对运动机构误差的实时校正，可以有效提高运动机构的控制精度，具有良好的应用前景。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117387475A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311299275.5

    (22)申请日2023.10.09

    (71)申请人上海无线电设备研究所

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