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本发明公开了一种晶圆自动上下料装置,其包括机架,机架上具有上料工位、搬运机械手以及寻边定位装置;上料工位处设置有晶圆盒定位机构;晶圆盒定位机构上设置有多组定位组件,定位组件包括晶圆盒感应传感器,不同定位组件对应的晶圆盒感应传感器的位置不同;搬运机械手包括升降模组、置于升降模组顶部的机械臂以及安装在机械臂末端的抓手;寻边定位装置包括晶圆载台、光学寻边传感器以及读码器,晶圆载台能够做X轴、Y轴的平移运动以及做旋转运动。本发明中,通过设置带有多组定位组件的晶圆盒定位机构以及寻边定位机构,使得晶圆自动上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117373974A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311454720.0
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人昆山瑞泰智能科技有限公司
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