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压电隔膜生物传感器的设计与制备

【摘要】压电材料在我们日常生活中的应用非常广泛，它以其灵敏度高、识别性好、即时性高的特点，可以把机械振动和电信号互相转换，而被广泛应用于传感器、探测器、驱动器等方面。近年来，地球资源日趋紧张，环境污染日益恶化，这就要求着我们能制造出资源占用少，环境污染小的新型器件。与此同时，随着科技世界对于器件集成化、微型化、信息化、多功能化的要求，MEMS技术应运而生并飞速发展，这种微型的机械系统给人类社会带来了巨大的便捷和经济利益，它与人类未来的命运息息相关。压电生物传感器就是MEMS器件之一，它可以有效检测有害物质，监