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本发明公开一种溅射残靶的处理系统,包括材料架、转运装置、酸洗单元、水洗单元、喷淋单元、以及干燥处理单元,所述材料架,用于码放溅射残靶;所述转运装置,用于移动所述材料架,以使溅射残靶和材料架一起进出所述酸洗单元、所述水洗单元、所述喷淋单元、以及所述干燥处理单元;所述酸洗单元,用于对溅射残靶进行酸洗,以溶解溅射残靶上的焊料;所述水洗单元,用于接收酸洗单元处理后的溅射残靶并对其进行超声清洗;所述喷淋单元,用于接收水洗单元处理后的溅射残靶并对其进行高压水喷淋;所述干燥处理单元,用于接收喷淋单元处理后的溅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117259290A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202210672246.8B08B3/12(2006.01)
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