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本实用新型公开了一种半导体立式炉晶舟,包括上端圆盘、下端圆盘、支撑槽柱、连接柱、横向加强筋;支撑槽柱、连接柱垂直连接在上端圆盘、下端圆盘之间,横向加强筋连接支撑槽柱和连接柱,支撑槽柱上分布均匀槽齿。本实用新型通过支撑槽柱与连接柱以及横向加强筋的抗扭或抗弯强度,达到增加舟托的整体强度的效果,能有效减少其在高温下的变形风险,通过槽齿斜面处理,工艺过程中晶圆滑动,晶圆翘曲产生的影响,降低晶圆划伤情况,提高工艺产能,增强稳定可靠性和晶舟使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220189582U
(45)授权公告日2023.12.15
(21)申请号202320073452.7
(22)申请日2023.01.10
(73)专利权人无锡松煜科技有限公司
地址2
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