2023年石英玻璃光掩模基片相关项目运行指导方案.docx

石英玻璃光掩模基片相关项目运行指导方案

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石英玻璃光掩模基片相关项目运行指导方案

目录

TOC\o"1-9"前言 3

一、产品规划 3

(一)、产品规划 3

(二)、建设规模 4

二、石英玻璃光掩模基片概述 5

(一)、石英玻璃光掩模基片项目名称及建设性质 5

(二)、石英玻璃光掩模基片项目承办单位背景分析 6

(三)、战略合作单位 6

(四)、石英玻璃光掩模基片项目提出的理由 6

(五)、石英玻璃光掩模基片项目选址及用地综述 7

(六)、土建工程建设指标 8

(七)、设备购置 9

(八)、产品规划方案 9

(九)、原材料供应