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本发明公开了一种用于OPC建模的测试图形集优化方法,建立OPC初始模型;并获取对应层的测试掩模版数据文件;从掩膜版数据文件中选择建模需要的测试图形和验证图形的量测点;利用OPC初始模型提取每个量测点的几何和光学特征;使用聚类算法对提取到的特征向量进行聚类,并对每一类中的量测点进行打分,根据分数选取量测点代表,删除其余量测点,使用聚类的模型预测验证图形在当前分类方法中的类别归属,若有不属于任意类别的图形,则将其加入到测试图形集中,完成更新。本发明优化的测试图形集可以使得后续建模的耗时缩短,且模型的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117151029 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311129246.4
(22)申请日 2023.09.04
(71)申请人 浙江大学
地址 310058
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