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本发明提供一种在石英玻璃上镀金刚石膜的方法,包括清洗基材、基材预处理、基材形核和金刚石层生长等步骤方法,来实现在光学玻璃上镀一层金刚石膜,并根据金刚石材料本身具有极高的硬度,使玻璃基材表面的金刚石膜层可以较大的提高玻璃基材的本身的机械强度,改善光学玻璃的机械性能,提高基材表面的耐刮花能力,延长其作为光学应用的使用质量和使用寿命;通过采用放置不同溶液的超声设备清洗,保证能够将玻璃基材表面清洗干净;采用线列式微波等离子体化学气相沉积设备或等离子体辅助化学气相沉积设备进行镀膜,设置合适的工艺参数,确保
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117105537 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311089904.1 C23C 16/50 (2006.01)
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