TESCAN-VEGA3-操作规程完整版.doc

TESCAN VEGA3 操作规程 一．开机 1.打开房间总电源。 2.将左侧开关（Main switch） 由 OFF 转向ON (此时PC亦自动开机) 见图 3.于桌面双击Vega TC在Log in 窗口中 选择guest 用户，则可在第二行密码栏中直接输入“回车”键，即可进入该用户。 4.系统进行自我检测硬件及软件(如有问题请通知维护人员) 二．样品的更换 5. 点选Vacuum窗口上VENT（泄真空） 键，放气，显示放空完成即可打开样品室门，将样品放入并用螺丝刀固定好样品台。点击抽真空，待窗口中Chamber vacuum 和Column vacuum下方进度条变绿后，等几分钟，真空度在表示样品室和镜筒中已经达到可工作真空度，此时可执行下一步骤在窗口Electron Beam 点选HV(加高压)，当Emission和 High Voltage下方进度条出现黄色，即已对灯丝加上高压。 注意：6.当天第一次上高压，需要将不同档位的高压都进行一次Adjustment（调整）??Auto Gun Heating（电子枪自动加热）。 进行完毕，然后选择20Kv档位的高压即可进行观察。 此功能为扫描模式的选择,共有分辨率模式（Resolution）,视野模式（Filed）,广角模式（Wild Field）和景深模式（Depth）四种模式。 分辨率模式：主要用来拍摄图片。 视野模式：可用来寻找样品台上的样品。 广角模式：可观察的范围比广角模式还大，可物体有些微变形。 景深模式：可观察落差比较大的样品。 扫描速度的选择。扫描速度共分为十档，1为扫描速度最快，噪声最大；10为扫描速度最慢，噪声最小。 缩放倍率。放大倍率可从4倍到100000倍连续可调。 调整工作距离，用于聚焦使用 调整像散，固定F11（X轴）调Y, 固定F12（Y轴）调X, 此功能为对比度/明暗度的手动调整。左右推动轨迹球为调整图像对比度，上下推动轨迹球为调整明暗度。 自动调节明亮对比功能，使图片显示最好的效果。 此功能为束流强度(Beam Intensity)的调整。BI值的选择决定了吸收电流的大小，可分为十档，BI值越大，吸收电流越大；BI值越大，吸收电流越小。一般而言，在低倍数时使用较大的BI值，在高倍数时使用较小的BI值。或者右击按钮选择自动。（平常不要随意改动） 保存图片。 三．基本操作 获取任何一张图片都必须至少经过寻找位置，放大，聚焦，消像散这几个步骤，基本可分为以下几步： 在视野模式或广角模式下找到要观察的样品。 2.选用分辨率模式，在低倍放大的情况下找到要观察的部分，适当放大并聚焦，能够看清楚后再放大并聚焦，直到希望的倍率，在这过程中保证要观察的区域处于扫描窗口的中央。 放大：点击，推动滚轮放大。 聚焦：点击，推动滚轮聚焦，当图片最清楚时聚焦完成。 3.若在聚焦的过程中，观察物发生变形，此时就需要消像散。 消像散：点击， 在图片上若X轴方向有变形，固定F12（Y轴）调X, 则在X轴方向推动滚轮，若Y轴方向有变形，固定F11（X轴）调Y, 则Y轴方向推动滚轮，直到变形情况消失。此时，图像可能会变的不清晰，需要再次聚焦。 4.有时在调焦的过程中，样品位置会出现很大的漂移，为了消除这一现象，需要做物镜光阑对中。 物镜光阑对中：点选Manual Column Centering，扫描窗口上出现有物体在晃动的小视窗；通过调整轨迹球，将晃动物体调整到原地跳动，完成后点击窗口中的FINISH键，物镜光阑对中完成。 5.图片清晰后，切记要调整灰度与对比度。调整的方式分为手动和自动两种： 自动：点击图标，此时系统开始进行自动调节灰度和对比度，等待一段时间扫描窗口中就会出现灰度和对比度比较合适的图片。 手动：点击图标，在Control Pad的方框内就会出现Contrast/Brightness，此时X轴方向推动滚轮是调节图象的对比度，Y轴推动滚轮则是调节图象的明暗度。 关机 1.先将点击右键选择最小放大倍数，然后将样品台返回初始位置，点击高压，降高压。 2.若样品若不需要取出或更换样品，可直接在菜单File下方的Log off，会出现确认对话框，点击Yes退出软件。若样品需取出，参考第二章取出/更换样品。之后，重新抽真空，直到窗口中Chamber vacuum 和Column vacuum下方进度条变绿后，再退出软件。注意：每天关闭电子显微镜时，必须保证样品室和镜筒处于高真空（进度条都为绿色）。 3正常关闭电脑。 4将电镜主机下方左侧开关由ON 转向 OFF 5关闭房间电源总开关