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本发明实施例涉及微量气体配制技术领域,特别涉及一种微量气体的配置方法。其中,方法包括:利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗,使得冲洗完成后待配制气瓶和整体管路为正压状态;根据待配制微量气体各组分气体的目标浓度,确定配制各组分气体时每一个组分气体所需充入的目标压力值;在待配制气瓶和整体管路为正压状态下,分别根据除平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对待配制气瓶进行对应组分气体的配制;根据配制平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向待配制气瓶充入的初始平衡气质量,在待配制气瓶和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115253883 A
(43)申请公布日 2022.11.01
(21)申请号 202210898861.0
(22)申请日 2022.07.28
(71)申请人 大连大特气体有限公司
地址 116
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