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本发明的一方面的检查设备的设定方法,其用于使探针与在放置于载置台的基板上的芯片上形成的电极焊盘接触来检查基板的检查设备,包括下述步骤:获取包含安装在所述检查设备上的探针卡的所述探针的第一图像;根据基于所述第一图像计算出的包含所述探针的位置的探针信息、以及事先准备的与所述探针卡对应的探针信息或焊盘信息,来计算包括所述探针卡的重心和角度的第一信息;获取包含放置于所述载置台的所述基板上的所述电极焊盘的第二图像;根据基于所述第二图像计算出的包含所述电极焊盘的位置的焊盘信息、以及事先准备的与所述基板对应的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116802782 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202280013693.0 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
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