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CN114113137A-一种薄膜材料的缺陷检测系统及其方法.doc

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    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114113137 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111328811 .0 (22)申请日 2021 .11 .10 (71)申请人 佛山科学技术学院 地址 528200 广东省佛山市南海区广云路 33号 (72)发明人 卢清华　甄志明　陈勇　 (74)专利代理机构 广州市华学知识产权代理有 限公司 44245 代理人 顾思妍 (51)Int.Cl . G01N 21/95(2006 .01) G01N 21/88(2006 .01) G01N 21/01(2006 .

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