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本实用新型公开了一种斜插式单层二维旋转涂层盘,包括承载盘,水平布置且中心具备方形孔;套管,具备容纳工件的开口的圆柱腔;支撑板,若干个支撑板沿承载盘的圆周环形布置,每个支撑板上具备供套管穿过的通孔,支撑板与承载盘呈钝角连接,支撑板相对承载盘沿斜下方延伸;套管在圆柱腔的开口处轴端具备径向向外凸出的止口边,止口边直径大于通孔的直径,套管具备贯通轴端与圆柱腔底部的排气孔,排气孔的直径小于圆柱腔的直径。采用此实用新型采用平面旋转方式,结构简单,制造成本低,空间利用率高,提高装炉量,套管与支撑板的分离与装配
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210252796 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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