一种用于长晶的坩埚组件.pdfVIP

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2023-08-29 发布于四川
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一种用于长晶的坩埚组件.pdf

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本申请涉及一种用于晶体生长的坩埚组件，属于晶体材料制备领域。该坩埚组件包括：坩埚主体；坩埚盖，所述坩埚盖内侧可设置籽晶；螺旋隔板组件，所述螺旋隔板组件设置在所述坩埚主体内，所述螺旋隔板组件的构造可形成螺旋气流通道。本申请的坩埚组件通过螺旋隔板组件设计，改变传统PVT法制备碳化单晶的气相传输方式，由传统的垂直向上传输转换为螺旋向上传输，实现对晶体生长过程中大颗粒杂质的有效格挡，降低晶体中的缺陷密度，提高晶体质量；并且不会造成气相向上传输困难，无需过高生长温度，降低能耗；本申请可以对真空下的气相传输

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210262076 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192