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多自由度光学精密调节台.pdfVIP

多自由度光学精密调节台.pdf

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    本发明公开了一种多自由度光学精密调节台，包括：调节台主体，其包括由上至下依次设置的第一转板、第二转板、第一滑板、第二滑板、第三转板和底板；θz方向舵机组件；θy方向舵机组件；X方向舵机组件；Z方向舵机组件和θx方向舵机组件。本发明将舵机引入到精密调节台结构中，巧妙利用了舵机控制简单、成本低廉等特点，实现了调节台高精度多自由度的调节；本发明结构简单小巧，自锁性能好、稳定性高，能适应细长条负载，应用范围广，且调节精度高、控制简单、生产成本低，市场前景广阔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107870405 A (43)申请公布日 2018.04.03 (21)申请号 20171

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