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本实用新型涉及一种基板清洗装置,包括:承载部;毛刷,与所述承载部连接;顺毛装置,与所述毛刷相距预设值;驱动机构,设置在所述承载部上,并且与所述顺毛装置连接。本实用新型实施例在毛刷附近增设顺毛装置,同时设置与顺毛装置相连接的驱动机构,当毛刷出现倒毛现象时,驱动机构在不停机状态下驱动顺毛装置与毛刷相切来进行顺毛,解决了毛刷倒毛导致PI液不粘的问题,同时保持了机台的制程能力,减少了因对毛刷顺毛导致的宕机,提高了机台的稼动率,提高了产品良率和产能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210080303 U
(45)授权公告日
2020.02.18
(21)申请号 20192
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