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本申请涉及一种双向取放料摆臂,属于芯片自动化加工的领域,主要应用于高效率、高精度的由取料平台向放料平台转运工件,其包括固定安装座、穿设于固定安装座的旋转电机、随旋转电机的输出轴同步旋转的摆动体、用于吸取及放置工件的第一吸料件与第二吸料件以及驱动第一吸料件及第二吸料件沿Z轴往复滑移的Z轴驱动组件,第一吸料件及第二吸料件对称设置于摆动体的两侧,当第一吸料件或第二吸料件向取料平台放置工件时,对称设置的第二吸料件或第一吸料件可同步对取料平台的工件进行吸附,从而相互补偿对方放料后的空转取料时间,继而改善了
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219448491 U
(45)授权公告日 2023.08.01
(21)申请号 202320536771.7
(22)申请日 2023.03.07
(73)专利权人 佑光智能半导体科技 (深圳)有限
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