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本发明提供的一种基于涡旋光束的测量系统及高度测量方法，属于光学测量与成像领域，测量系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块和外部输出模块；测量方法包括布置测量系统、样品信息采集和高度计算；通过本申请，基于涡旋光束空间相位分布特性，将高度值变化量转换为干涉图样绕光轴的旋转量，使用四步相移法求得旋转量，进而得到高度值变化量；相比于传统的短相干测量、投影差分测量等方法，此高度测量方案的数据量更小，采样频率更高，能够实现更高的时间分辨率；可以在半导体、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115235344 A
(43)申请公布日 2022.10.25
(21)申请号 202210631487.8
(22)申请日 2022.06.06
(71)申请人 苏州天准科技股份有限公司
地址 2
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