一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法.pdfVIP

一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法.pdf

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本发明涉及一种RB‑SiC表面飞秒激光改性预处理方法,通过飞秒激光对RB‑SiC表面上的预置Si粉进行改性处理,以提高RB‑SiC表面的抛光效率。本发明可以直接对RB‑SiC的切割表面进行表面改性,预置在RB‑SiC表面的Si粉在飞秒激光的高峰值功率作用下被迅速氧化,并随着氧化深度的不断加深,使得氧化后的改性层与RB‑SiC基体形成键合,得到一个具有高粘附强度、高质量的改性涂层。该方法具有操作简便、对RB‑SiC基体和工作环境要求低、可在空气中直接进行等优点,可以应用于面形复杂的RB‑SiC表面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116460443 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310418443.1 B23K 26/70 (2014.01) (22)申请日 2023.04.

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