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本发明提供了一种类金刚石复合层结构的制备方法,包括以下步骤:提供基底,对所述基底依次进行预处理、辉光清洗和离子刻蚀清洗;将经清洗后的基底置于沉积室中,通入氩气,调节真空室压强为0.2~1.3Pa,开启第一靶材、第二靶材,且控制所述第一靶材的靶功率为30~70W,控制所述第二靶材的靶功率为30~70W,在基底偏压为100~300V的条件下,沉积预制过渡层;将沉积有预制过渡层的样品取出,置于盛有刻蚀液的容器中,进行超声处理,对所述预制过渡层进行刻蚀处理,形成表面具有微纳结构阵列的过渡层,得到刻蚀样品
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111304602 A
(43)申请公布日
2020.06.19
(21)申请号 20181
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