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本实用新型公开了一种节能环保型四氟化碳纯化装置，具体涉及四氟化碳生产设备技术领域，包括纯化箱，所述纯化箱内均匀开设有倾斜的第一反应室、第二反应室和第三反应室；本实用新型四氟化碳气体中的杂质会与碱水溶液进行反应，来进行碱洗，从而可有效除掉四氟化碳气体中的酸性气体，如微量氟气、氟化氢和部分二氧化碳等杂质，并通过第一反应室、第二反应室、第三反应室和两个导气管的设置，使四氟化碳气体可经过三重碱洗，使气体中杂质能与碱水溶液能反应的更加充分，整体上可对溶液与气体杂质进行多级接触并反应，有效提高了对四氟化碳纯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214261363 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202120036340.5
(22)申请日 2021.01.07
(73)专利权人 江苏安瑞森电子材料有限公司
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