2022年中国四氟化碳主要企业产能分布及行业需求前景分析[图].docx

2022年中国四氟化碳主要企业产能分布及行业需求前景分析[图] /report/1135605.html 共研浅析：2022年国内四氟化碳生产工艺、企业产能及行业需求分析[图] 标签：四氟化碳 描述：四氟化碳是目微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体之一，其高纯气及与高纯氧气的混合气，可广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，并且在低温制冷、电子器件表面清洗和气相绝缘等方面也被广泛应用 四氟化碳（CF4）又称四氟甲烷，具有较好的溶氧性，其高纯气及其配高纯氧气的混合气是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。 四氟化碳应用市场分布 资料来源：共研产业咨询（共研网）整理 工业上四氟化碳的合成主要采用氟碳直接合成法，这种生产工艺的优点是原料易得、反应可控、产物纯度高。该方法已实现工业化生产，产品纯度高达99.99%以上，可满足电子工业的需求，已成为工业上制备四氟化碳的最主要方法之一。 工业四氟化碳生产工艺 国内四氟化碳主要生产厂家包括科美特，华特气体等，其中，科美特四氟化碳年产能为1200吨，气体纯度高、质量稳定。 国内四氟化碳产能 资料来源：共研产业咨询（共研网）整理 目前我国半导体工厂的四氟化碳50%来自于日本，国内华特气体、南大光电、昊华科技、雅克科技、中船重工718所等企业均在积极布局氟碳类气体，四氟化碳的需求将会显著增加，2021年大陆四氟化碳需求量将超过3000吨，2025年有望超过8000吨。 2021-2025年中国四氟化碳需求量 资料来源：共研产业咨询（共研网）整理 更多本行业详细的研究分析见共研产业咨询（共研网）《2023-2029中国四氟化碳行业全景调研及投资潜力分析报告》，同时共研产业研究院还提供产业数据、产业研究、政策研究、产业链咨询、产业图谱、产业规划、可行性分析、商业计划书、IPO咨询等产品和解决方案。